产品一览

本公司专注于“先进磁控溅射技术与专用设备”的研发及产业化,可为您量身定制专用的“磁控溅射”生产线或中小型设备,公司拥有自主研发的高效率、高靶材利用率柱形旋转靶,耐高温焊接、接低欧姆接触、高附着力的多层金属化膜系工艺,立式连续全自动智能生产线等核心技术,目前可提供的主要产品有:

  1. PZT压电陶瓷磁控溅射绿色金属化工艺及连续式生产线;
  2. PTC热敏陶瓷磁控溅射绿色金属化工艺及连续式生产线;
  3. NTC热敏陶瓷磁控溅射绿色金属化工艺及连续式生产线;
  4. ZnO压敏陶瓷磁控溅射绿色金属化工艺及连续式生产线;
  5. 石英晶振磁控溅射被银技术及连续式生产线;
  6. 铁氧体贴片电感磁控溅射端银技术及连续式生产线;
  7. 塑料机壳抗电磁干扰屏蔽膜技术及连续式生产线;
  8. QCM生物传感器高性能电极制备技术及专用生产线;
  9. PZT压电陶瓷磁控溅射绿色金属化工艺及单体镀膜机;
  10. PTC热敏陶瓷磁控溅射绿色金属化工艺及单体镀膜机;
  11. 石英晶振磁控溅射被银技术及单体镀膜机;
  12. 高介电常数微波陶瓷高Q值金属化工艺及单体镀膜机;
  13. 高真空多靶磁控溅射科研仪器;

典型应用

  • PTC热敏电阻(无线通信基站过流保护、马达启动等)
  • NTC热敏电阻(温度传感、温度补偿)
  • ZnO压敏电阻(电气电子系统过电压保护)
  • PZT压电陶瓷滤波器(家用电气、汽车电子)
  • 石英晶振(提供电子产品的基准时钟和精准频率)
  • 电子产品外壳电磁屏蔽(笔记本电脑、导航仪等EMC)
  • 铁氧体端银(贴片电感、功率电感)
  • 无线通信基站腔体滤波器(4G/5G无线通信)
  • 薄膜电路(LED照明、汽车电子等)
  • QCM生物传感(微量危害气体检测、癌症早期筛查)
  • 微波介质陶瓷滤波器(无线通信)
  • 科学研究(真空、薄膜、新材料、新器件、MEMS/NEMS)

产品特点:

  •  绿色制造、全制程无污染;
  •  交钥匙工程,设备交付1周内,用户可以进行生产;提供全套技术资料;
  •  完善的培训体系,由高级专家亲自授课,用户可以短期内学会操作,进行基本维修;
  • 完善的售后服务体系,设备故障承诺24小时内响应,1年内免费维修;
  • 立式全自动连续式生产(生产线)/自动手动混合控制(单机及科研仪器);
  • 智能报警、完整的生产日志、多级别用户权限管理,1年内软件免费升级;
  • 全部产品均采用无油真空获得系统;
  • 可根据用户需求定制设备,预留硬件升级接口;
  • 可根据用户需求定制工艺; 金属化膜层附着力高,典型的垂直拉力值可达5 kgf;
  • 金属化膜层耐焊性佳,最大可浸入420℃焊锡10秒三次;
  • 金属化膜层均匀性好,典型值为±5%,最优值可达±1.5%;
  • 可沉积贵金属、贱金属、化合物薄膜等;
  • (生产线)吞吐量大,典型值为每10分钟可镀膜2平方米;
  • 自主研发的磁控溅射源,靶材利用率>80%,换靶方便快捷。